박막 PZT를 이용한 마이크로 액추에이터 제작 및 성능평가

서영호 ,  최두선 ,  황경현

소음·진동

2005 .08

솔젤법에 의한 제작된 PZT 박막의 특성

申泰賢 ,  柳道鉉

전기학회논문지 P

2001 .12

정보저장기기용 마이크로 액추에이터

김철순 ,  김규용

소음·진동

2001 .12

PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성

李成甲 ,  金經兌 ,  裵善基 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .02

초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )

마재평 ,  백수현 ,  황유상

전자공학회논문지-A

1995 .12

PZT 액추에이터를 이용한 촉각 자극기의 모델링

권대규 ,  윤명종 ,  유기호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

RF-Magnetron Sputtering System을 이용하여 제작한 mono-layer PZT박막과 Bi-layer PZT박막의 전기적 특성평가와 두께별 성분함량에 관한 연구

정상묵 ,  박영웅 ,  이경우 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

PZT 액추에이터를 이용한 로터계 동기진동의 강인제어 ( Robust Control of Synchronous Vibration of a Rotor System with PZT Actuator )

권대규

대한기계학회 논문집 A권

2002 .04

PZT 박막을 이용한 미세 질량 감지 센서의 제작

강선미 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

PZT박막의 시간에 따른 표면특성열화에 관한 연구

송한욱 ,  홍종인 ,  노광수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교

고종수 ,  곽병만

대한기계학회 논문집 A권

2002 .06

유리 기판 위에서의 PZT 박막의 특성에 관한 연구

주필연 ,  정규원 ,  박영 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

하부전극 변화에 따른 PZT 박막 특성에 관한 연구

박영 ,  정규원 ,  임승혁 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Sol-Gel법으로 제작한 PZT(20/80)/PZT(80/20) 이종층 박막의 구조 및 유전특성

심광백 ,  정장호 ,  이영희 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11

PZT-5A 탐촉자의 특성 분석

김철수 ,  김상수 ,  송준태 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

마이크로 전자석과 자기변형박막을 이용한 마이크로 액추에이터의 제작

서지훈 ,  양상식 ,  정종만 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

메모리 응용을 위한 PZT 강유전체 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( A Study on the preparation and Properties of Ferroelectric PZT Thin Films for Memory Applications )

이정기 ,  윤영섭

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

메모리 응용을 위한 PZT 강유전체 박막의 제작과 특성에 관한 연구

이정기 ,  윤영섭

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

스퍼터링으로 제조한 PZT박막에 대한 V의 첨가 효과

길덕신 ,  주재현 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01