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자료유형
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저널정보
한국소음진동공학회 소음·진동 소음진동 제12권 제4호
발행연도
2002.8
수록면
259 - 266 (8page)

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목차

1. 머리말
2. 미세 구조물의 진동과 MEMS
3. 나노 기술에서의 미세 진동
4. 맺음말
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