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학술저널
저자정보
장진석 (한국표준과학연구원) 강태형 (한국표준과학연구원) 송한욱 (한국표준과학연구원) 박연규 (한국표준과학연구원) 김민석 (한국표준과학연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.8
발행연도
2014.8
수록면
683 - 688 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2014

압력과 온도측정 기능을 갖는 고성능 플렉시블 촉각센서
장진석 ,  강태형 ,  송한욱 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014.08 학술저널

2013

압력과 온도측정 기능을 갖는 고성능 플렉서블 촉각센서
장진석 ,  김민석 ,  강태형 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013.05 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper presents a high-performance flexible tactile sensor based on inorganic silicon flexible electronics. We created 100 nm-thick semiconducting silicon ribbons equally distributed with 1mm spacing and 8×8 arrays to sense the pressure distribution with high-sensitivity and repeatability. The organic silicon rubber substrate was used as a spring material to achieve both of mechanical flexibility and robustness. A thin copper layer was deposited and patterned on top of the pressure sensing layer to create a flexible temperature sensing layer. The fabricated tactile sensor was tested through a series of experiments. The results showed that the tactile sensor is capable of measuring pressure and temperature simultaneously and independently with high precision.
#Strain Gauge (스트레인게이지) #Micro Electro Mechanical System (미세전자기계시스템) #Spatial Resolution(공간분해능) #Flexible Tactile Sensor (유연촉각센서) #Artificial Electronic Skin (인공전자피부)

목차

1. 서론
2. 촉각센서 설계 및 제작 공정
3. 압압압압압 동시 측정 가능한 촉각센서의 동작평가
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
Dahiya, R. S. / 2010 / Tactile Sensing-From Humans to Humanoids / Proc. of the IEEE Transactions on Robotics 26(1):1~20 google schola Maheshwari, V. / 2008 / Tactile Devices to Sense Touch on a Par with a Human Finger / Angewandte Chemie International Edition 47(41):7808~7826 google schola Schostek, S. / 2006 / Artificial Tactile Sensing in Minimally Invasive Surgery-A New Technical Approach / Minimally Invasive Therapy & Allied Technologies 15(5):296~304 google schola Yousef, H. / 2011 / Tactile Sensing for Dexterous in-Hand Manipulation in Robotics - A Review / Sensors and Actuators A:Physical 167(2):171~187 google schola Kim, J. H. / 2004 / Development of Tactile Sensor and Its Application / J. Korean Soc. Precis. Eng 21(9):20~25 google schola

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