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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2005년도 추계학술대회논문집
발행연도
2005.11
수록면
879 - 882 (4page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 평면 스캐너의 설계 및 해석
3. 평면 스캐너의 유한 요소 해석
4. AFM Image
5. 결론
참고문헌

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