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저자정보
안태균 (청주대학교) 유연석 (청주대학교)
저널정보
한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제12권 제9호(JKIIT, Vol.12, No.9)
발행연도
2014.9
수록면
1 - 9 (9page)
DOI
10.14801/kitr.2014.12.9.1

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사각 증착 방법을 사용하면 코팅 박막의 기둥 미세구조에 영향을 주게 되어 박막의 물리적, 광학적 특성이 변화된다. 기판 표면에 증발 입자들이 사각으로 입사하게 되면 그림자 효과 때문에 빈 공간이 존재하는 다공성 박막으로 성장한다. 여기서는 전자 빔 증착 방법을 사용하여 ITO(Indium-Tin-Oxide) 박막을 유리 기판에 코팅하였다. 실험 결과는 기판 표면에 대한 증착 입자들의 입사각도가 증가할수록 박막의 투과도와 비저항이 증가하지만 광학상수는 입사각도가 증가할수록 감소하는 것으로 나타났다. 또한 실험값을 사용하여 사각 증착한 ITO 박막의 전자파 차폐 특성을 이론적으로 분석하였으며 입사각도가 큰 박막들에서는 차폐효과가 감소하는 것으로 나타났다. 또한 사각 증착 ITO 박막의 광학상수를 사용하여 다층 무반사 박막계를 설계하여 실험적 코팅 데이터와 비교 분석하였다. 사각 중착 ITO 박막을 사용함으로써 전자파 차폐 기능을 포함한 단순화된 다층 무반사 박막계를 설계할 수 있었다. 이는 디스플레이 소자에서 사용 가능할 것으로 판단된다.
#oblique angle deposition #ITO #thin film #AR-coating #electromagnetic wave shielding

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 이론
Ⅲ. 실험 및 결과
Ⅴ. 결론
References

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - K. Robbie / 1998 / Advanced techniques for glancing angle deposition / J. Vac. Sci. Technol. B 16 (3) : 1115 ~ 1122 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - K. Robbie / 1999 / Chiral nematic order in liquid crystals imposed by an engineered inorganic nanostructure / Nature 399 : 764 ~ 766 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Y. P. Zhao / 2002 / Novel Nano-Column and Nano-Flower Arrays by Glancing Angle Deposition / Nano Lett 2 (4) : 351 ~ 354 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Ian Hodgkinson / 2001 / Direct nanoengineering and lithographic of optically anisotropic thin films / Microelectronic Engineering 57-58 : 833 ~ 836 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Seouk-Hoon Woo / 2006 / Optical Anisotropy of Microstructure-Controlled TiO2 Films Fabricated by Glancing-Angle Deposition (GLAD) / Journal of the Korean Physical Society 48 (6) : 1199 ~ 1204 google schola

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