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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
손영수 (한국기계연구원) 함삼용 (한국기계연구원) 채상훈 (호서대학교)
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지 전자공학회논문지 제51권 8호
발행연도
2014.8
수록면
23 - 29 (7page)

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실리콘 태양전지 제조에 기판으로 사용되는 156 mm 실리콘 웨이퍼의 제작 공정에 있어서 제품 불량 및 성능 저하를 유발하는 웨이퍼 표면 오염원을 분석하였으며, 이를 제거하기 위한 오존수 세정에 대하여 실험하였다. 오염물질은 웨이퍼 절단 공정에서 사용되는 슬러리 및 세척액 속에 포함된 유기물과 소잉 와이어로부터 분리된 미세입자에 의해 형성되며, 오존수 세정공정을 통하여 제거할 수 있었다. 이 기술을 적용하면 태양전지용 웨이퍼를 저렴하고 효율적이며 친환경적으로 제조할 수 있다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 태양전지용 웨이퍼 세정결과 분석
Ⅱ. 오존 기능수의 제조
Ⅳ. 태양전지 웨이퍼 세정 실험 및 분석
Ⅴ. 결론
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