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Ga-doped ZnO (GZO) single layer and SiO₂/GZO bi-layered films were deposited on Polycarbonate(PC) substrate by radio frequency magnetron sputtering. Influence of the structural, electrical, and optical properties of the films was considered. We have considered the influence of electron irradiation energy of 450 and 900 eV on the stuctural, electrical and optical properties of SiO₂/GZO thin films. The optical transmittance in a visible wave length region increased with the electron irradiation energy. The electrical resistivity of the films were dependent on the electron’s irradiation energy. The SiO₂/GZO films irradiated at 900 eV were showen the lowest resistivity of 7.8 × 10?3 Ωcm. The film which was irradiated by electron at 900 eV shows 84.3% optical transmittance and also shows lower than contact angle of 58o in this study.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
References
참고문헌 (16)
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1. [학술지(정기간행물)] - 오성훈 / 2012 / DC, RF 마그네트론 코스퍼터링법으로 증착한 ZTO/GZO 투명전도성막의 열처리 조건이 박막의 물성에 미치는 영향 / 한국표면공학회지 45 (3) : 117 ~ 122
2. [학술지(정기간행물)] - 박상은 / 2008 / DC 마그네트론 스터링법을 이용하여 증착한 Ga, Al, In 첨가 ZnO 박막의 특성 / 한국표면공학회지 41 (4) : 142 ~ 146
3. [학술지(정기간행물)] - K. T. R. Reddy / 2000 / / J. Cryst. Growth 210 : 516 ~
4. [학술지(정기간행물)] - Daeil Kim / 2006 / / Vacuum 81 : 279 ~
5. [학술지(정기간행물)] - M. Yoshino / 1993 / / Jpn. J. Appl. Phys 32 : 726 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 박상은 / 2008 / DC 마그네트론 스터링법을 이용하여 증착한 Ga, Al, In 첨가 ZnO 박막의 특성 / 한국표면공학회지 41 (4) : 142 ~ 146
3. [학술지(정기간행물)] - K. T. R. Reddy / 2000 / / J. Cryst. Growth 210 : 516 ~
4. [학술지(정기간행물)] - Daeil Kim / 2006 / / Vacuum 81 : 279 ~
5. [학술지(정기간행물)] - M. Yoshino / 1993 / / Jpn. J. Appl. Phys 32 : 726 ~
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