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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.3
- 수록면
- 253 - 260 (8page)
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클린룸 내부에서 발생한 오염은 복잡한 공정과 여러 가지 장비에 의해서 더욱 더 복잡한 형태를 나타내며, 다양한 오염 형태로 나타나게 된다. 이러한 경향으로 인해서 클린룸 내부에서 발생한 오염입자를 생산공정에 영향을 주지 않으면서 경제적이고 효율적으로 제어하기 위해서, 오염입자 분포에 대한 상세한 해석이 요구된다. 따라서 이러한 오염제어의 목적으로 오염원 추정법이 개발되었다. 본 논문에서는 기여도를 추정하기 위한 계산 가속화 방법으로 영역분할법을 제안하였다. 이 결과로부터 각 오염원의 오염 발생량을 정량적으로 예측할 수 있었다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 관련 이론
3. 연구 방법
4. 수치해석 및 실험
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - Suwa, Y., A. / 2004 / Searching Method for Contaminant Source Locations based on the Diffusion Analysis Results obtained by Computer Simulation / The 21st. Symposium on Aerosol Science & Technology, Japan Association of Aerosol Science & Technology : 99 ~ 100
2. [학술지(정기간행물)] - Hu, S. C. / 1996 / Measurements of Air Flow Characteristics in a Full-Scale Clean Room / Building and Environment 31 : 119 ~ 128
3. [학술지(정기간행물)] - Murakami, S. / 1990 / Numerical Study of Flow and Contaminant Diffusion Fields as Affected by Flow Obstacles in Conventional-Flow-type Cleanrooms / ASHRAE Transactions 96 : 343 ~ 355
4. [학술대회논문] - Suwa, Y. / 1992 / A Numerical Study on Airflow Turbulence Behind Pleated Air Filters / In Proceeding of the Future Practice of Contamination Control : 23 ~ 27
5. [학술대회논문] - Fujii, S. / 1992 / Characterization of Airflow Turbulence Behind HEPA Filters / In Proceeding of the Future Practice of Contamination Control : 581 ~ 584
2. [학술지(정기간행물)] - Hu, S. C. / 1996 / Measurements of Air Flow Characteristics in a Full-Scale Clean Room / Building and Environment 31 : 119 ~ 128
3. [학술지(정기간행물)] - Murakami, S. / 1990 / Numerical Study of Flow and Contaminant Diffusion Fields as Affected by Flow Obstacles in Conventional-Flow-type Cleanrooms / ASHRAE Transactions 96 : 343 ~ 355
4. [학술대회논문] - Suwa, Y. / 1992 / A Numerical Study on Airflow Turbulence Behind Pleated Air Filters / In Proceeding of the Future Practice of Contamination Control : 23 ~ 27
5. [학술대회논문] - Fujii, S. / 1992 / Characterization of Airflow Turbulence Behind HEPA Filters / In Proceeding of the Future Practice of Contamination Control : 581 ~ 584
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