2㎜×2㎜ 압저항형 가속도센서 설계 및 제작

전연화; 김현철

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 전연화 (울산대학교) 김현철 (울산대학교)

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지 전자공학회논문지 제52권 2호

발행연도: 2015.2

수록면: 83 - 88 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

2㎜×2㎜ 압저항형 가속도센서 설계 및 제작

전연화 , 김현철 전자공학회논문지 2015.02 학술저널

2013

2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작

전연화 , 박기웅 , 김현철 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2013.07 학술대회자료

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

본 논문에서는 2㎜×2㎜ 크기를 가지며 빔의 위치가 다른 2가지 종류의 압저항형 가속도 센서를 설계하고 제작하여 감도 특성과 온도에 따른 옵셋 특성을 측정하고 비교하였다. 4빔 스프링 구조와 8빔 스프링 구조를 가지는 압저항형 가속도센서를 제작 하였으며, ANSYS 프로그램을 이용하여 공진주파수 특성과 스트레스 분포도를 분석하고 제작하였다. 제작된 가속도센서의 감도와 온도에 따른 옵셋 특성을 측정하고 서로 비교하였다. 감도는 4빔 스프링 구조가 21.38㎶/V/g으로 더 우수한 특성을 보였으며 온도에 따른 옵셋 출력 전압은 4빔 스프링 구조가 154.45ppm/°C으로 더 작게 변화하였다.

#accelerometer #piezoresistive #sensor #sensitivity #offset

참고문헌 (11)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - S. Kal / 2005 / CMOS compatible bulk micromachined silicon piezoresistive accelerometer with low off axis sensitivity / Microelectronics Journal 37 : 22 ~ 30

2. [학술대회논문] - Petersen, K.E. / 1985 / Silicon Sensor Technologies / Proceedings of the International Electron Devices Meeting : 2 ~ 7

3. [학술대회논문] - Barlian, A.A. / 2009 / Review: Semiconductor piezoresistance for microsystems / Proc. IEEE 2009 : 513 ~ 552

4. [학술지(정기간행물)] - French, P.J. / 2002 / Polysilicon: A versatile material for microsystems / Sens. Actuat. A : 3 ~ 12

5. [학술대회논문] - SangHo Lee / 1995 / Fabrication of 4-Beam Piezoresistive Silicon Acceleration Sensor and Its Bump Bonding Technique / IEEK Summer Conference 18 (1) : 798 ~ 801

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

전연화

소속기관 울산대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 2 이용수 171

Kim Hyeon Cheol

소속기관 울산대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 37 이용수 2,153

이 논문과 함께 이용한 논문

MEMS 기술동향

백경갑 , 주병권 전기의세계 2006 .10

Wafer Level Vacuum Packaged Out-of-Plane and In-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometers for Navigational Applications

Illhwan Kim , Seonho Seok , Hyeon Cheol Kim 외 2명 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE 2005 .03

압저항센서를 이용한 유속분포 측정 시스템을 위한 저역통과필터 신호처리 회로의 특성비교

최규진 , 유상석 대한기계학회 춘추학술대회 2015 .11

영구자석 동기발전기와 회류수조를 이용한 조류발전 시스템의 특성 해석

안원영 , 이석현 , 김근수 외 2명 신·재생에너지 2013 .03

MEMS 가속도계 기반의 기계 상태감시용 스마트센서 개발

손종덕 , 심민찬 , 양보석 한국소음진동공학회논문집 2008 .08

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-569-001357401

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (11)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)