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Al₂O₃ thin films were deposited on the moth eye anti-reflective nanostructured polycarbonate films by atomic layer deposition (ALD) techniques. Without ALD-Al₂O₃ thin films, moth eye anti-reflective nanostructured films had a high optical transmittance of 95.47% at a wavelength of 550 nm and a very poor hardness of 0.1381 GPa. With increasing the thickness of Al₂O₃ thin films from 5 to 25 nm, the transmittance of moth eye anti-reflective nanostructured films was gradually decreased from 94.94 to 93.12% . On the other hand, the hardness of the films was greatly increased from 0.3498 to 0.7806 GPa with increasing the thickness of Al₂O₃ thin films. This result shows that ALD thin films can be applied to improve mechanical properties with an adequate optical transmittance of the conventional moth eye anti-reflection nanostructure films.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
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