Co-sputtering 방법으로 증착한 Molybdenum 도핑된 Indium Oxide 박막의 특성변화 연구

전지아; 오규진; 김은규

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저자정보: 전지아 (한양대학교) 오규진 (한양대학교) 김은규 (한양대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 322 - 322 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

Indium Molybdenum Oxide 박막의 증착온도 변화에 따른 광학적 및 전기적 특성 연구

전지아 , 오규진 , 김은규 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

Co-sputtering 방법으로 증착한 Molybdenum 도핑된 Indium Oxide 박막의 특성변화 연구

전지아 , 오규진 , 김은규 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

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#IMO #co-sputtering #molybdenum #indium oxide

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전지아

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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오규진

소속기관 한양대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 10 이용수 321

김은규

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논문수 182 이용수 3,442

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