스퀴즈모델 보정을 통한 나노임프린트 리소그래피 공정 해석 연구

류지형; 이재종; 임형준; 이상호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 류지형 (한국기계연구원) 이재종 (한국기계연구원) 임형준 (한국기계연구원) 이상호 (원광대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015 한국생산제조시스템학회 춘계학술대회 -생산제조대연합-

발행연도: 2015.4

수록면: 104 - 104 (1page)

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2016

스퀴즈모델 보정을 통한 나노임프린트 리소그래피 공정 해석 연구

류지형 , 이재종 , 임형준 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2016.04 학술대회자료

2015

스퀴즈모델 보정을 통한 나노임프린트 리소그래피 공정 해석 연구

류지형 , 이재종 , 임형준 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015.04 학술대회자료

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류지형

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논문수 15 이용수 801

이재종

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 자연과학 > 물리학

논문수 207 이용수 11,290

H. J. Lim

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 화학공학 > 생물공학

논문수 120 이용수 6,331

이상호

소속기관 한국로봇융합연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학 TOP 5%

논문수 321 이용수 23,261

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