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LPCVD 질화막 만을 이용한 새로운 LOCOS 공정에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 LOCOS공정에 관한 연구 ( Study of a New LOCOS Process using Room Temperature Plasma Nitridation )
대한전자공학회 학술대회
1987 .05
LOCOS구조에 대한 2차원 모델링
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Locos구조에 대한 2차원 모델링 ( Two-Dimensional Modeling of Locos Structure )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
LPCVD System
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
LOCOS 공정에서 새부리 크기 감소를 위한 연구 ( A Study on the Reduction of Bird`s Beak in the LOCOS Process )
전자공학회논문지
1990 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
LOCOS 공정에서 새부리 감소를 위한 최적화에 대한 연구 ( A Study on the Optimum for Bird's Beak Reduction in the LOCOS Process )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( Thermal Analysis of the Wafers in LPCVD Process )
대한기계학회 논문집 B권
1998 .05
LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( An Analysis of Temperature Field of Wafers in LPCVD Process )
대한기계학회 춘추학술대회
1997 .01
Oxidation Model에 따른 Advanced LOCOS 구현에 관한 연구 ( A Study for Advanced LOCOS Implement Depend On Oxidation Models )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
LPCVD 질화막을 이용한 MIS 소자의 수소가스 검지 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
램프 가열 방식 LPCVD 장비의 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
폴리 실리콘을 첨가하여 LOCOS 구조를 개량한 경우 소자분리 특성에 관한 연구 ( A Study on the Bird's Beak-reduced LOCOS Isolation by Adding Polysilicon )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
폴리 실리콘을 첨가하여 LOCOS 구조를 개량한 경우 소자분리 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
EVALUATION OF STRESS INDUCED DEFECTS DUE TO RECESSED LOCOS PROCESS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
LPCVD 및 PECVD 시스템
전자공학회잡지
1983 .10
LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
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