Silicon-On-Insulator의 실온제조 ( Silicon-On-Insulator Fabricated at Room Temperature )

이종현; 최광돈; 강성원; 조성일; 양천순

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이종현 최광돈 강성원 조성일 양천순

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술발표회 논문집 (반도체/재료부품/CAD/VLSI) 제6권 1호

발행연도: 1988.1

수록면: 108 - 111 (4page)

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