선택적 경사 노광과 후면 노광에 의한 3차원 구조물의 제작

李準燮 ,  申鉉俊 ,  文盛昱 외 2명

전기학회논문지 C

2004 .01

극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구

김우삼 ,  김충용 ,  김태근 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

21세기를 향한 노광기술과 스텝퍼

이용일 ,  박흥옥

[ETRI] 전자통신동향분석

1992 .12

평판디스플레이 노광장비용 초박형 마스크스테이지 개발

배상신 ,  정연욱 ,  송준엽

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

노광장비에서의 고효율 전자빔 응용 기술 현황

임선종 ,  강재훈 ,  이현용 외 1명

한국공작기계학회지

2008 .09

하이브리드 자외선 노광법을 이용한 3차원 고종횡비 미소구조물 제작

박성민 ,  남경목 ,  김종훈 외 1명

대한기계학회 논문집 A권

2016 .08

광노광을 위한 투영광학계의 기술분석

이종현 ,  배남진 ,  전치훈 외 5명

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .06

투영노광장치용 고속.고정밀 Stage계의 연구동향

장원익 ,  이용일 ,  김보우

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .03

접촉형변위센서를 이용한 노광기용 마스크-글라스간 갭 및 평형 조절 장치

임광국 ,  서화일 ,  조현찬 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

193-nm 노광장비개발 ( 193-nm Exposure Tool Development )

정해빈 ,  이각현 ,  김도훈 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

하이브리드 노광법의 광학 모델링 개발 및 분석

박성민 ,  남경목 ,  우승표 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .04

SiN 멤브레인과 WTi 흡수체를 이용한 X-선 노광용 마스크 제작 ( Fabrication of a mask for X-ray lithography Using SiN membrane and WTi Absorber )

이문석 ,  김오현

전자공학회논문지-A

1995 .12

0.25mm Gate CD Control을 위한 노광장치 조명계 최적화에 대한 연구

김태균 ,  김병수 ,  강호영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

차세대 FPD 노광장비용 정렬계 설계

송준엽 ,  김동훈 ,  정연욱 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

초 LSI시대의 최신 노광장치 기술

한국전자산업진흥회

전자진흥

1983 .01

차세대 반도체 ( GDRAM ) 를 위한 X-선마스크 제작

최상수 ,  전영진 ,  최성학 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

직${\cdot}$병렬 회로의 백색 LED 조명램프 금속배선용 포토마스크 설계 및 제작

송상옥 ,  송민규 ,  김태화 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

나노미터 크기의 임의 형상을 제작하기 위한 새로운 리소그래피 기술

홍진수 ,  김창교

한국산학기술학회 논문지

2004 .06

F-pattern 적용을 위한 노광 장치 해상력 향상에 대한 연구

심진우 ,  박범태 ,  함근식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2009 .11