열처리가 반절연성 다결정 실리콘 박막의 구조 및 전기적 특성에 미치는 영향

조원주; H. Kuwano

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조원주 H. Kuwano

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제2권

발행연도: 1995.1

수록면: 71 - 73 (2page)

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조원주

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H. Kuwano

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주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

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