ECR thermal Oxdation 을 이용한 Bottom-Gate Poly-Si TFT의 제작 및 특성 분석

한정인; 최득성; 이정렬; 한철희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 한정인 최득성 이정렬 한철희

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제2권

발행연도: 1995.1

수록면: 321 - 322 (2page)

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최득성

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