Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF GaN USING a REMOTE PLASMA ENHANCEMENT

Choi ,  Sung-Woo ,  Cho 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

AN EXPERIMENTAL STUDY OF PARTICLE DEPOSITION DURING THE OUTSIDE VAPOR DEPOSITION PROCESS

Jae Geol Cho ,  Jae Yun Kim ,  Man Soo Choi

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1996 .10

RPECVD에 의한 저온 규소 산화막의 특성

강진규 ,  김수구 ,  이시우

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1993 .01

A Study of Heat Transfer and Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process

Young Huei Song ,  Man Soo Choi ,  Shin Hyoung Kang

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

Laser CVD에 의한 SiO₂막의 형성과 제특성

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Outside Vapor Deposition 공정에 관한 열전달과 입자 부착에 관한 연구 ( A Study of Heat Transfer and Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process Outside Vaper Deposition )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한기계학회 춘추학술대회

1993 .01

Effect of Room-temperature Ion Energy on PECVD-SiN Films

Suyeon Kim ,  Byungwhan Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Modeling the Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Using Polynomial Neural Networks

Seung-Soo Han

한국지능시스템학회 논문지

1999 .04

실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性

成英權 ,  閔南基 ,  金承培

전기의세계

1979 .09

Growth of GaN on ( 0001 ) Sapphire Substrates by Remote Plasma-Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

손철수 ,  김민홍 ,  이재형 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Effect of substrate temperature on the morphology and water vapor transmission property of ZnO film on polymer substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition

송준용 ,  정현옥 ,  박규대 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

Low-Temperature Growth of SiO2 Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Jung Wook Lim ,  Sun Jin Yun ,  Jin Ho Lee

[ETRI] ETRI Journal

2005 .02

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OF CRYSTALLINE SILICON BY HCL ADDITION DURING HOT WIRE CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION

Sang-Hoon LEE ,  Yung-Bin CHUNG ,  Jae-Soo JUNG 외 1명

AFORE

2011 .11

Synthesis of Carbon Nanotubes by Using Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition at Low Temperature

Kim ,  Young-Rae ,  Jang 외 13명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01