ULSI DRAM의 Capacitor 절연막용 BST 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of BST Thin Films for the Capacitor Dielectrics of ULSI DRAM's )

류정선 ,  강성준 ,  윤영섭

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

ULSI DRAM의 Capacitor 절연막용 BST 박막의 제작과 특성에 관한 연구

류정선 ,  강성준 ,  윤영섭

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

Analysis of Interface Traps of ( Ba2Sr ) TiO3 Thin Film Capacitor From Capacitance-Voltage Characteristics

곽동화 ,  장병탁 ,  이승훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Embedded Capacitor Structure for High Capacitance

Y. C. Jung ,  K. K. Hong ,  H. M. Kim 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

Embedded Capacitor Structure for High Capacitance

Y. C. Jung ,  K. K. Hong ,  H. M. Kim 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

DRAM 셀 구조의 셀 캐패시턴스 및 기생 캐패시턴스 추출 연구 ( A Study on the Extraction of Cell Capacitance and Parasitic Capacitance for DRAM Cell Structures )

윤석인 ,  권오섭 ,  원태영

전자공학회논문지-SD

2000 .07

ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF Pt / ( Ba , Sr ) TiO3 / Pt CAPACITORS FOR ULSI DRAM APPLICATIONS

Soon Oh Pa ,  k ,  Cheol Seong Hwang 외 5명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Influence of Etch Profiles on the Leakage Current and Capacitance of 3-D DRAM Storage Capacitors

Seongun Shin ,  Gyuhan Yoon ,  Woo Young Choi

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2019 .04

Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

고속 DRAM interface

최정환

전자공학회지

2012 .07

EFFECT OF Ti$O_2$ LAYER AT BST/pt INTERFACE

Paek ,  S.H. ,  Won 외 3명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

DRAM 특집을 내면서

진대제

전기의세계

1989 .04

조성변화에 따른 BST 박막의 특성에 관한 연구 ( A Study on the Characteristics of BST Thin Films with various Ba/Sr Ratio )

류정선 ,  강성준 ,  윤영섭

전자공학회논문지-A

1996 .06

256Mbit 및 그 이후 세대 DRAM을 위한 소자분리 및 Capacitor 기술 ( Isolation and Capacitor Technologies for 256M Bit DRAMs and Beyond )

강호규

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

DRAM 소자의 열적 안전성에 관한 연구

손윤혜 ,  박세근 ,  이석헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

폴리머 기판위에 형성된 나노구조제어 알루미나의 캐패시터 특성

정승원 ,  민형섭 ,  한정환 외 1명

한국재료학회지

2007 .01

가변 특성이 우수한 실리콘 기판을 사용한 BST 박막형 가변 커패시터

김기병 ,  윤태순 ,  이종철 외 3명

한국전자파학회논문지

2005 .03