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Sub-Wavelength Pattern Transfer by Near Field Photo-Lithography
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Photo lithography공정에 의한 자연모사 기반 표면 패턴의 향균효과 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .04
Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰
전자공학회지
2001 .08
Ultra-extensive area symmetric block copolymer lithography enabled by I-line photo-lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2012 .10
E-Beam Lithography 기술
전자공학회잡지
1984 .10
기하 광학적 Coma 성분 최적화를 통한 Photo Lithography 패턴 Contrast 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
Lithography 기술 현황 및 향후 전망
전자공학회지
1992 .05
ADVANCED LITHOGRAPHY
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
(2) UMS에 관하여
전자진흥
2000 .01
New Developments in 1 : 1 Optical Lithography
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
0 .5 μm 이하의 미세형상 가공 기술에 대한 비교 분석
전자공학회지
1991 .09
X-ray Lithography Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Optical Lithography at Low K Factors
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
대면적 Lithography 장비의 Stage 설계에 대한 고찰
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2005 .01
E-beam Lithography ( Equipment )
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
고분자 표면 개질을 통한 Soft Lithography 미세패턴에 관한 연구
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2006 .04
Photo-lithography를 이용한 Dimple Texturing에 의한 1,400cc급 디젤엔진의 마찰토크 감소효과 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .04
A Trend of Advanced Lithography Development
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
전기수력학적 리소그래피를 이용한 기능성 물질의 미세패턴 형성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
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