저온 초박막 게이트 산화막의 TCA 첨가량에 따른 전기적 특성 분석

박경남; 박병국; 이종덕

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박경남 박병국 이종덕

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 1995년도 추계종합학술대회 논문집 Vol.18 No.2

발행연도: 1995.12

수록면: 615 - 618 (4page)

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1996

The Dependence of Hot-Carrier Reliability of Ultra-Thin Gate Oxide on TCA Incorporation

박경남 , 최영진 , 박병국 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1996.01 학술대회자료

1995

저온 초박막 게이트 산화막의 TCA 첨가량에 따른 전기적 특성 분석

박경남 , 박병국 , 이종덕 대한전자공학회 학술대회 1995.12 학술대회자료

저온 초박막 게이트 산화막의 TCA 첨가량에 따른 전기적 특성 분석 ( Ultra-Thin Gate Oxide Grown at Low Temperature ; the Dependence of Its Electrical Characteristics on the Amounts of TCA Incorporation )

박경남 , 박병국 , 이종덕 대한전자공학회 학술대회 1995.11 학술대회자료

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Byung-Gook Park

소속기관 서울대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학 TOP 0.1% 자연과학 > 물리학

논문수 236 이용수 15,962

이종덕

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주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학 TOP 5%

논문수 130 이용수 3,825

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