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이용수
요약
1. 서론
2. 실험 및 측정
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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8개의 빔을 갖는 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 ( Fabrication of Piezoresistive Silicon Acceleration Sensor with Eight Beams )
대한전자공학회 학술대회
1995 .07
빔 위치변화에 따른 4빔 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 및 특성비교 ( Fabrication and Characteristics Comparison of Piezoresistive Four Beam Silicon Accelerometer Based on Beam Location )
전자공학회논문지-D
1999 .07
2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작
대한전자공학회 학술대회
2013 .07
4빔형 압저항 실리콘 가속도센서의 제조 및 Bump 본딩 기술
대한전자공학회 학술대회
1995 .06
4빔형 압저항 실리콘 가속도 센서의 제조 및 BUMP 본딩 기술 ( Fabrication of 4-Beam Piezoresistive Silicon Acceleration Sensor and Its Bump Bonding Technique )
대한전자공학회 학술대회
1995 .07
실리콘 저항형 압력센서의 온도 보상에 관한 연구 ( A Study on Temperature Compensation of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor )
전자공학회논문지
1990 .04
범프 본딩된 압저항 실리콘 가속도센서의 제조 ( Fabrication of Bump Bonded Piezoresistive Silicon Accelerometer )
전자공학회논문지-D
1997 .07
박막구조를 가진 폴리실리콘 압저항형 습도센서의 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
TPMS용 4빔 실리콘 미세 압저항형 가속도센서의 설계 및 제작
전자공학회논문지-SD
2012 .02
Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )
대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )
대한기계학회 춘추학술대회
1992 .01
압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구
전기학회논문지
1992 .10
A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure
전기학회논문지
1994 .06
압저항형 온·습도 복합 센서 제작 및 특성 분석
한국산업정보학회논문지
2014 .04
실리콘 압저항형 압력센서를 이용한 압력실 레벨센서의 구현
대한전자공학회 학술대회
2012 .06
고무 복합재료의 압저항 효과
Elastomers and composites
2013 .01
압저항 연성해석을 통한 고충격 미소가속도계의 최적설계 및 성능 비교
대한기계학회 춘추학술대회
2011 .11
압저항 효과의 양극성을 이용한 MEMS 센서 민감도 향상을 위한 실리콘 나노와이어 설계
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2020 .07
A Study on Fabrication and Characteristics of teh Piezoresistive Pressure Sensor
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
2006 .06
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