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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 1995년도 하계종합학술대회 논문집 Vol.18 No.1
발행연도
1995.6
수록면
1,241 - 1,245 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1995

실리콘 팁을 갖는 전계 방출 소자의 개발에 관한 연구 ( Study on the Development of Si-tip Field Emitter Array )
주병권 ,  오명환 대한전자공학회 학술대회 1995.07 학술대회자료
실리콘 팁을 갖는 전계 방출 소자의 개발에 관한 연구
주병권 ,  오명환 대한전자공학회 학술대회 1995.06 학술대회자료

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목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 습식 식각에 의한 실리콘 팁 어래이의 형성
3. 실리콘 팁을 갖는 전계 방출 소자 어래이의 제조
4. 전계 방출 소자의 특성 평가 장치의 설계 및 측정 결과
5. 결론
감사의 글

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