LCD Process 최적 PSM Type 선정에 관한 연구

이민우; 강민

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이민우 (삼성전자공과대학교) 강민 (삼성디스플레이)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2015.5

수록면: 1,271 - 1,272 (2page)

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#PSM #Phase Shift Mask #a-PSM #Resolution Enhancement Technology

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이민우

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 14 이용수 1,064

강민

소속기관 삼성디스플레이

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-555-001561305

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