유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

외부 자기장이 인가된 유도 결합 플라즈마의 특성 연구

정성현 ,  김상우 ,  장민석 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2021 .10

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

나노초 펄스 성형이 가능한 모듈형 펄스전원장치 설계

배정수 ,  김태현 ,  손성호 외 5명

전력전자학회 학술대회 논문집

2021 .07

유체 시뮬레이션을 이용한 N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마 특성 연구

서권상 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .10

밀도 조건에 따른 이중펄스 레이저 유도 플라즈마 점화원 특성 분석

강지은 ,  임성균

KOSCO SYMPOSIUM 논문집

2022 .11

금속 윈도우 유도 결합 플라즈마 방전 장치에 대한 수치 해석적 접근

최희환

인포메이션 디스플레이

2017 .01

디스플레이 공정용 메탈윈도우 유도결합플라즈마 식각장치에 대하여

이호준

인포메이션 디스플레이

2017 .01

Ar/H2 유도 결합형 플라즈마의 펄스 모드 구동에 따른 이온 및 중성 기체 밀도 분포

서귀상 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .10

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .10

펄스 전류를 이용한 고분자전해질 분리막 수전해 장치의 수소발생 향상을 위한 연구

김재훈 ,  김기룡 ,  제갈준혁 외 4명

전력전자학회 학술대회 논문집

2021 .07

큐브위성 활용을 위한 저전력 펄스 플라즈마 추력기 랩모델 개발

백석환 ,  정지웅 ,  김정호 외 2명

한국추진공학회 학술대회논문집

2024 .11

펄스형 지진의 펄스지표에 따른 교량구조물의 지진취약도해석

꽁씨나 ,  김예은 ,  꽁씨닛 외 2명

대한토목학회 학술대회

2024 .10

디스플레이 공정 플라즈마 기초

김동환 ,  정진욱

인포메이션 디스플레이

2015 .01

유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

무선주파수 펄스파 노출에 대한 인체 영향 및 인체보호기준

이애경 ,  전상봉 ,  최형도 외 7명

전자파기술

2018 .05

플라즈마 진단 장치 및 진단 방법에 대한 연구

왕태희 ,  박민상 ,  김미진 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2021 .10

이중펄스 추진기관의 격막형 펄스분리장치 개발

이방업 ,  구송회 ,  홍석현 외 3명

한국추진공학회 학술대회논문집

2019 .05

펄스의 반복성을 이용한 펄스 레이더 신호 검출

임창헌 ,  김대한 ,  정정우 외 2명

한국통신학회 학술대회논문집

2017 .11