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저자정보
안원민 (한국기계연구원) 정성훈 (한국기계연구원) 김도근 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2016.2
수록면
133 - 133 (1page)

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