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이용수
1. 서론
2. SiC 에피 박막 성장
5. 결론
참고문헌
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다중물리 유한요소해석에 의한 SiC 단결정의 용액성장 공정 설계
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2016 .01
화학 기상 증착법으로 제조된 h-BN층을 가진 SiC/SiC 복합소재의 제조 및 특성 평가 연구
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SiC 기반 극한 환경형 센서 개발 현황 및 전망
대한전자공학회 학술대회
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