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저자정보
전종균 (Sunmoon University) 심다솔 (Sunmoon University) 박상곤 (RMSTechnology Corporation) 한현희 (RMSTechnology Corporation)
저널정보
한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2016년도 춘계 학술대회 논문집
발행연도
2016.4
수록면
185 - 189 (5page)

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The award-winning manufacturing plants for semiconductor, TFT-LCD, and OLED manage their sub-micro vibrations strictly in order to raise their production yield rate and quality. The vibration environment required to manage the sub-micro vibrations of super-precision equipment is measured in the level of several micro(㎛). The permitted limits of vibration required depending on the characteristics and the process of super-precision equipment are also different. It is difficult to find a space to install the dustproof device of such super-precision equipment as it is difficult to maintain it. Based on its fluid characteristics, this study examined the damping force of a variable attenuator designed to solve the issue with resonance caused by an external vibration from outside. When the damping force changed according to the variable area of the variable attenuator and its fluid viscosity, the damping force increased in relation to the increase in the fluid viscosity and the orifice area.
#Natural Frequency(고유진동수) #Viscous Fluid(점성유체) #Damping Force(감쇠력) #Adjustable Damping(가변감쇠) #Oil Damper(오일댐퍼) #Orifice(오리피스)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. UTM 시스템 구성
3. 감쇠력 측정
4. 결론
References

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