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사불화탄소(CF4)는 반도체 제조공정에서 에칭과 화학기상증착(CVD)에서 사용되어온 가스이다. CF4는 적외선을 강하게 흡수하고 대기 중 잔류시간이 길어서 지구온난화에 영향을 미치기 때문에 고효율의 분해가 필요하다. 또한 불화수소를 포함한 폐수는 지하수 오염의 원인이 된다. 과도한 불소를 포함한 물을 장기간 섭취는 치아와 뼈에 문제를 야기한다. 워터젯플라즈마를 이용하여 CF4를 분해 후 생성되는 부산물 중 HF에 의하여 폐수가 생성된다. 이 폐수를 알루미늄 전극을 사용한 전해응집을 이용하여 폐수 중 HF를 제거 할 수 있는 시스템을 개발하였다. 실험 변수로는 초기 pH 변화, 반응 시간 변화, 주입 유량 변화, 전류 밀도 변화를 실험하였다. 변수 실험을 통하여 초기 pH는 3.5, 반응 시간은 10min, 주입 유량은 10mL/min, 전류 밀도는 159A/㎡일 때 HF 제거율은 최고 85%까지 도달하였다.
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1. [학술지(정기간행물)] - 박동화 / 200305 / CF4 decomposition by thermal plasma processing / KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 20 (3) : 476 ~ 481
2. [학술지(정기간행물)] - Chang, M. B / 2004 / Abatement of perfluorocarbons with combined plasma catalysis in atmospheric-pressure environment / Catal. Today 89 : 109 ~ 115
3. [학술지(정기간행물)] - Xie, H / 2009 / Abatement of perfluorocompounds with microwave plasma in atmospheric pressure environment / J. Hazard. Mater 168 : 765 ~ 769
4. [학술지(정기간행물)] - Shen, F / 2003 / Electrochemical removal of fluoride ions from industrial wastewater / Chem. Eng. Sci 58 : 987 ~ 933
5. [학술지(정기간행물)] - Drouiche, N / 2008 / Electrochemical treatment of chemical mechanical polishing wastewater: removal of fluoride- sludge characteristics-operating cost / Desalination 223 : 134 ~ 142
2. [학술지(정기간행물)] - Chang, M. B / 2004 / Abatement of perfluorocarbons with combined plasma catalysis in atmospheric-pressure environment / Catal. Today 89 : 109 ~ 115
3. [학술지(정기간행물)] - Xie, H / 2009 / Abatement of perfluorocompounds with microwave plasma in atmospheric pressure environment / J. Hazard. Mater 168 : 765 ~ 769
4. [학술지(정기간행물)] - Shen, F / 2003 / Electrochemical removal of fluoride ions from industrial wastewater / Chem. Eng. Sci 58 : 987 ~ 933
5. [학술지(정기간행물)] - Drouiche, N / 2008 / Electrochemical treatment of chemical mechanical polishing wastewater: removal of fluoride- sludge characteristics-operating cost / Desalination 223 : 134 ~ 142
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