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암모니아 처리용 플라즈마 스크러버 공정 최적화 연구를 수행하였다. 여러 반도체공정 중 확산과 이온주입공정에서는 불가피하게 부산물로서 암모니아가 배출되며, 따라서 효율적인 건식처리공정기술이 필요하다. 플라즈마 처리공정은 연소공정에서 배출되는 NOx가 발생하지 않으며, 촉매공정에서 나타나는 비활성문제가 없다. 그러나 전기에너지를 사용하기 때문에 실제 적용을 위한 최적화 연구가 필요하며, 본 연구에서는 공정 최적화를 위한 해결책으로 회전아크 반응기의 모드제어에 대한 연구를 수행하였다. 기존 회전아크 반응기에 대한 스케일 업 및 그에 대한 모드 매핑을 수행하였다. 설계 반응기를 이용하여 암모니아 분해특성을 평가하였고, 최적화 설계가 가능한 것으로 나타났다. 또한 열교환기를 포함한 전체 스케일의 스크러버 실험에서 암모니아 분해공정이 보다 안정적이고, 효율적인 것으로 나타났다.
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1. [학술지(정기간행물)] - SOOSEOK CHOI / 2012 / THERMAL PLASMA DECOMPOSITION OF FLUORINATED GREENHOUSE GASES / Nuclear Engineering and Technology 44 (1) : 21 ~ 32
2. [학술지(정기간행물)] - Bonarowska, M. / 2001 / Hydrodechlorination of CCl2F2 (CFC-12) over Pd-Au catalysts / Appl. Catal. B-Environ 35 : 13 ~ 20
3. [학술지(정기간행물)] - Wang, H. P. / 1998 / Pyrolysis of PU/CFCs wastes / J. Hazard. Mater 58 : 221 ~ 226
4. [학술지(정기간행물)] - Fiala, A. / 1999 / Model of point-of-use plasma abatement of perfluorinated compounds with an inductively coupled plasma / J. Appl. Phys 86 (1) : 152 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Hong, Y. C. / 2003 / Reduction of perfluorocompound emissions by microwave plasma-torch / Thin Solid Films 435 : 329 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Bonarowska, M. / 2001 / Hydrodechlorination of CCl2F2 (CFC-12) over Pd-Au catalysts / Appl. Catal. B-Environ 35 : 13 ~ 20
3. [학술지(정기간행물)] - Wang, H. P. / 1998 / Pyrolysis of PU/CFCs wastes / J. Hazard. Mater 58 : 221 ~ 226
4. [학술지(정기간행물)] - Fiala, A. / 1999 / Model of point-of-use plasma abatement of perfluorinated compounds with an inductively coupled plasma / J. Appl. Phys 86 (1) : 152 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Hong, Y. C. / 2003 / Reduction of perfluorocompound emissions by microwave plasma-torch / Thin Solid Films 435 : 329 ~
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