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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
강동원 (청주대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제65권 제10호
발행연도
2016.10
수록면
1,702 - 1,705 (4page)

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We propose a novel hydrogen-reduced p-type amorphous silicon oxide buffer layer between TiO₂ antireflection layer and p-type silicon window layer of silicon thin film solar cells. This new buffer layer can protect underlying the TiO₂ by suppressing hydrogen plasma, which could be made by excluding H2 gas introduction during plasma deposition. Amorphous silicon oxide thin film solar cells with employing the new buffer layer exhibited better conversion efficiency (8.10 %) compared with the standard cell (7.88 %) without the buffer layer. This new buffer layer can be processed in the same p-chamber with in-situ mode before depositing main p-type amorphous silicon oxide window layer. Comparing with state-of-the-art buffer layer of AZO/p-nc-SiOx:H, our new buffer layer can be processed with cost-effective, much simple process based on similar device performances.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 토의
4. 결론
References

참고문헌 (5)

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