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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
장영준 (재료연구소) 강용진 (재료연구소) 김기택 (재료연구소) 김종국 (재료연구소)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제32권 제4호
발행연도
2016.8
수록면
125 - 131 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (9)

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In recent years, thick ta-C coating has attracted considerable interest owing to its existing and potential commercial importance in applications such as automobile accessories, drills, and gears. The thickness of the ta-C coating is an important parameter in these applications. However, the biggest problems are achieving efficient coating and uniformity over a large area with high-speed deposition. Feasibility is confirmed for the ta-C coating thickness of up to 9.0 μm (coating speed: 3.0 μm/h, fixed substrate) using a single FCVA cathode. The thickness was determined using multiple coating cycles that were controlled using substrate temperature and residual stresses. In the present research, we have designed a coating system using FCVA plasma and produced enhanced thick ta-C coating. The system uses a specialized magnetic field configuration with stabilized DC arc plasma discharge during deposition. To achieve quality that is acceptable for use in automobile accessories, the magnetic field, T-type filters, and 10 pieces of a multi-cathode are used to demonstrate the deposition of the thick ta-C coating. The results of coating performance indicate that uniformity is ±7.6 , deposited area is 400 mm, and the thickness of the ta-C coating is up to 5.0 μm (coating speed: 0.3 μm/h, revolution and rotation). The hardness of the coating ranges from 30 to 59 GPa, and the adhesion strength level (HF1) ranges from 20 to 60 N, depending on the ta-C coating.

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법 및 내용
3. 결과 및 고찰
4. 트라이볼로지 코팅 실용화를 위한 대면적 코팅장비 구현
5. 결론
References

참고문헌 (6)

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