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조항은; 민병권

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조항은 (연세대학교) 민병권 (연세대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2016.10

수록면: 142 - 142 (1page)

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#Nanofabrication #Focused ion beam #Metal-dielectric multilayer #Curved substrate

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H. E. Joe

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민병권

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