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학술저널
저자정보
Chun-Hyung Cho (Hongik University) Ho-Young Cha (Hongik University) Hyuk-Kee Sung (Hongik University)
저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.17 No.2
발행연도
2017.4
수록면
180 - 185 (6page)

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In this research, we proposed the simple and efficient method to calculate the shear stresses by using the mid-point measurements in ± 45<SUP>o</SUP> semiconductor resistor-sensor pair. Compared to the previous works, the measurements became much simpler by combining the approximation theory with the technique of mid-point measurement. In addition, we proposed another novel method for the stress calculation in which we could increase the sensitivity of the stress sensor by controlling the applied voltage between the sensor-pair. For the applied voltage of 8 V, the sensitivity showed a significant increase by 100%.
#Shear-stress #sensor-sensitivity #stresssensor #resistor-sensor #semiconductor-sensor

목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. REVIEW OF GENERAL THEORY
III. CHIP DESIGN & ANALYSIS
IV. CONCLUSIONS
V. FUTURE WORKS
ACKNOWLEDGMENTS
REFERENCES

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
R. C. Jaeger, Suhling, J. C. Suhling, R. Ramani, “Errors Associated with the Design, Calibration of Piezoresistive Stress Sensors in (100) Silicon,” IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology - Part B: Advanced Packaging, Vol. 17(1), pp. 97-107, 1994. E. Lund and T. Finstad, “Measurement of the Temperature Dependency of the Piezoresistance Coefficients in p-type Silicon,” Advances in Electronic Packaging, Vol. 1 ASME 1999, pp. 215-218, 1999. J. C. Suhling and R. C. Jaeger, “Silicon piezoresistive stress sensors and their application in electronic packaging”, IEEE Sensors Journal, Vol. 1, no. 1, pp. 14-30, 2001. J. Richter and O. Hansen, “Piezoresistance of silicon and strained Si0.9Ge0.1”, Sensors and Actuators A, Vol. 123-124, pp. 388-396, 2005. A. Mian, J. C. Suhling and R. C. Jaeger, “The van der Pauw stress sensors,” IEEE Sensors Journal, Vol. 6, no. 2, pp. 340-356, 2006.

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