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한송희 (전자부품연구원) 이주호 (전자부품연구원) 이관훈 (전자부품연구원)
저널정보
한국신뢰성학회 한국신뢰성학회 학술대회논문집 한국신뢰성학회 2017 춘계학술대회 논문집
발행연도
2017.5
수록면
55 - 55 (8page)

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기존 자원고갈 및 급격한 환경오염으로 인한 신재생에너지 필요성이 갈수록 대두되고 있다. 그 중 태양광은 무공해․무한한 에너지원으로 가장 먼저 상용화가 진행되고 있다. 그러나 최근 태양광 발전 시장은 규모의 경제를 통한 원가 경쟁력 확보가 중요시되어 원가 절감의 일환으로 변환효율의 향상, 제작비용의 절감, 태양전지 공정의 간소화 등의 연구가 진행되고 있는 실정이다.
태양전지의 효율을 향상하기 위해서는 소수 캐리어의 높은 수명이 필수조건인데, 웨이퍼(wafer)가 빛에 노출되면 소수 캐리어의 수명이 줄어들어 시간이 경과함에 따라 변환 효율이 점점 감소하는 문제가 발생한다.
본 연구에서는 변환 효율을 개선하기 위해 절삭 손상된 웨이퍼 표면에 클리닝 공정 후 MCLT(Minority Career Life Time) 측정으로 비교평가하였다. 에칭 전부에 따른 MCLT의 변환 효율개선이 기대되는 시료를 주사전자현미경을 이용해 표면분석하였고, TEM(투과전자현미경)으로 내부 구조를 확인하였다.

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