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심동하 (서울과학기술대학교) 양지훈 (서울과학기술대학교) 한승한 (서울과학기술대학교) 이현민 (서울과학기술대학교) 김기훈 (서울과학기술대학교) 김호경 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국전자파학회 한국전자파학회논문지 韓國電磁波學會論文誌 第28卷 第6號(通卷 第241號)
발행연도
2017.6
수록면
505 - 508 (4page)

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본 논문은 CMOS 공정에 수반되는 메탈 더미 구조가 서브 테라헤르츠 온칩 마이크로스트립 패치 안테나의 성능에 미치는 영향을 분석하였다. 45 ㎚ CMOS 공정을 이용해 400 ㎓ 온칩 안테나를 설계하고, 3D EM 시뮬레이션을 통하여 메탈 더미 구조의 밀도에 따른 안테나의 공진주파수와 효율을 분석하였다. 검증을 위해 발진기와 집적된 안테나를 설계/제작하고, FTIR과 볼로미터를 이용한 준광학적 방법을 통해 측정을 수행하였다. 측정 결과, 밀도가 27 %인 더미 구조에 의해 안테나의 복사전력이 417 ㎻에서 87 ㎻로 6.8 ㏈ 감소하는 것을 확인하였다.
#Sub-Terahertz #On-Chip Microstrip Patch Antenna #Metal Dummy Structures #CMOS

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 안테나 설계
Ⅲ. 안테나 제작 및 측정
Ⅳ. 결론
References

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
E. Seok et al., A 410-GHz CMOS push-push oscillator with a patch antenna, in IEEE ISSCC Dig. Tech. Papers, pp. 472-473, Feb. 2008. B. E. Stine et al., The physical and electrical effects of metal-fill patterning practices for oxide chemical-mechanical polishing processes, IEEE Trans. Elec. Dev., vol. 45, no. 3, Mar. 1998. A. Tsuchiya, H. Onodera, Dummy fill insertion considering the effect on high-frequency characteristics of spiral inductors, in IEEE MTT-S Int. Microw. Symp. Dig., pp. 787-790, Jun. 2008. S. Amakawa, et al., Design of well-behavied low-loss millimetre-wave CMOS transmission lines, Workshop on Signal and Power Integrity, May 2014. D. J. Arenas, et al., Characterization of near-terahertz complementary metal-oxide semiconductor circuits using a Fourier-transform interferometer, Review of Scientific Instruments, vol. 82, no. 10, 103106-1-103106-6, Oct. 2011.

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