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저자정보
한지희 (서울과학기술대학교) 한규범 (위스콘신 대학교) 장동영 (서울과학기술대학교) 안효석 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제33권 제3호
발행연도
2017.6
수록면
92 - 97 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

서브 마이크로 구조를 가진 실리콘 표면의 마찰 특성 연구
한지희 ,  한규범 ,  장동영 외 1명 Tribology and Lubricants 2017.06 학술저널

2016

서브마이크로 구조를 가진 실리콘 표면의 마찰 특성 연구
한지희 2016.01 학위논문

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The understanding of the friction characteristics of micro-textured surface is of great importance to enhance the tribological properties of nano- and micro-devices. We fabricate rectangular patterns with submicron-scale structures on a Si wafer surface with various pitches and heights by using a focused ion beam (FIB). In addition, we fabricate tilted rectangular patterns to identify the influence of the tilt angle (45° and 135°) on friction behaviour. We perform the friction test using lateral force microscopy (LFM) employing a colloidal probe. We fabricate the colloidal probe by attaching a 10±1-μm-diameter borosilicate glass sphere to a tipless silicon cantilever by using a ultraviolet cure adhesive. The applied normal loads range between 200 nN and 1100 nN and the sliding speed was set to 12 μm/s. The test results show that the friction behavior varied depending on the pitch, height, and tilt angle of the microstructure. The friction forces were relatively lower for narrower and deeper pitches. The comparison of friction force between the sub-micro-structured surfaces and the original Si surface indicate an improvement of the friction property at a low load range. The current study provides a better understanding of the influence of pitch, height, and tilt angle of the microstructure on their tribological properties, enabling the design of sub-micro- and micro-structured Si surfaces to improve their mechanical durability.
#focused ion beam(집속이온빔) #lateral force microscopy(마찰력 현미경) #colloidal probe(콜로이드 탐침) #sub-micro pattern(서브 마이크로 패턴) #silicon surface(실리콘 표면)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법 및 내용
3. 시험 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
Borghi, A., Gualtieri, E., Marchetto, D., Moretti, L., and Valeri, S., “Tribological effects of surface texturing on nitriding steel for high-performance engine applications”, Wear, Vol. 265, Issues 7, pp. 1046-1051, 2008. Zhuang, Y. X., Menon, A., “On the stiction of MEMS materials”, Tribol. Lett., Vol. 19, pp. 111-117, 2005. Kim, H. J., Kim, D. E., “Nano-scale friction: A review”, Int. J. Precision Eng. Manufacturing, Vol. 10, No. 2, pp.141-151, 2009. Bhushan, B. (Ed.), Hanbook of Nanotechnology, Springer, 2004. google schola Bhushan, B. (Ed.), Hanbook of Micro/Nanotribology (2nd ed.), CRC Press LLC, 1999. google schola

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