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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제6권 제5호
발행연도
2005.10
수록면
432 - 438 (7page)

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본 논문에서는 반도체 제조를 위한 AC 서보 모터의 고정도 위치 제어에 관하여 연구하였다. 제어기는 150 MIPS의 고속 처리가 기능한 TI사의 차세대 모터 제어용 DSP TMS320F2812를 이용하여 컨트롤러를 구성하였으며, 2,500 PPR 분해능의 광학식 증분형 엔코더가 장착 된 100W 용량의 PMSM을 위치 제어 하였다. 위치 제어기를 구성하기 위하여 속도 제어기와 전류 제어기를 하위 루프로 구성하였으며, 회전형 엔코더 4체배 된 신호를 이용하여 최대 10,000 PPR의 위치 제어를 수행 하였다. 이로부터 보다 많은 PPR을 지원하는 엔코더에서도 같은 방법으로 고정도 위치제어가 가능할 것이다.

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