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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.4
- 수록면
- 1,803 - 1,811 (9page)
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TFT-LCD용 TFT기판 상에서 저에너지 마이크로 컬럼을 이용하는 전기적인 결함 검출 메카니즘을 분석하였 다. 본 연구에서는 고진공 챔버 내에서 7인치 TFT 기판에 저에너지 전자빔을 주사하여 여러 가지 불량 화소에 대한 SEM 이미지를 획득하였다. 더불어 각각의 불량 화소에서 나타나는 현상과 전기적인 거동과의 연관성을 분석하여 검 출 메카니즘을 해석하였다. 그 결과로서 저에너지 초소형 전자 컬럼을 이용하는 저에너지 전자빔에 의한 SEM 이미지는 전자간 반발효과에 크게 영향을 받는 일관성 있는 결과를 확인하였다.
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1. [학술지(정기간행물)] - Y. C. Kim / 2009 / Inspection method for contact/via-holes using a low-energy electron microcolumn / J. Vac. Sci. Technol. B 27 (6) : 3208 ~
2. [학술지(정기간행물)] - H. S. Kim / 200910 / Photo-mask fabrication by low-energy microcolumn lithography / MICROELECTRONIC ENGINEERING 86 : 2049 ~ 2052
3. [인터넷자원] - / / Applied Materials Enhanced Aerial Imaging Technology Addresses 22nm Photomask Inspection Challenges
4. [학술지(정기간행물)] - J. C. Hunter / 2005 / Issues and Challenges Associated with Electrical Testing of Large LCD-TV Arrays / SID Symposium Digest of Technical Papers 36 (1) : 1800 ~
5. [학술대회논문] - T. Tanaka / 2006 / Large Area Processing PECVD System / Proc. of ASID'06 : 12 ~
2. [학술지(정기간행물)] - H. S. Kim / 200910 / Photo-mask fabrication by low-energy microcolumn lithography / MICROELECTRONIC ENGINEERING 86 : 2049 ~ 2052
3. [인터넷자원] - / / Applied Materials Enhanced Aerial Imaging Technology Addresses 22nm Photomask Inspection Challenges
4. [학술지(정기간행물)] - J. C. Hunter / 2005 / Issues and Challenges Associated with Electrical Testing of Large LCD-TV Arrays / SID Symposium Digest of Technical Papers 36 (1) : 1800 ~
5. [학술대회논문] - T. Tanaka / 2006 / Large Area Processing PECVD System / Proc. of ASID'06 : 12 ~
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