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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.4
- 수록면
- 1,812 - 1,816 (5page)
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본 연구에서는 약액 주입 후 미 도포로 인한 복합적인 공정불량을 예방하기 위하여 100nm 이하의 나노 반 도체 제조공정에서 필수적인 스피너(spinner) 장비를 위한 약액 흐름제어 시스템을 개발하였다. 본 연구개발을 통하 여 실시간으로 상태요소들을 감시할 뿐만 아니라 상태요소의 비정상적 변화나 웨이퍼 가공불량이 발생할 경우 해당 유니트를 정지시킴과 동시에 원격지에 있는 엔지니어에게 경보를 전송함으로써 즉각적인 대처가 가능하여 모듈의 수율을 향상시킬 수 있을 것으로 기대된다. 또한 세부 동작 시퀀스를 제어하기 위한 H/W와 S/W 시스템을 생산라인 에 실장하고 성능점검 및 인증을 수행한 결과 5가지의 유형별 비정상적 프로세스를 정확히 검출하였다.
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참고문헌 (6)
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1. [인터넷자원] - / / 반도체 이해 및 반도체산업현황
2. [기타자료] - 장홍석 / / 반도체소자 제조용 케미컬 탱크 및 이를 구비한 스피너 설비, 특허출원번호 1020040063299
3. [학술지(정기간행물)] - Leslie KE / 2001 / Three component spinner magnetometer featuring rapid measurement times / IEEE Transactions on Applied Superconductivity 11 (1) : 1051 ~ 8223
4. [학술지(정기간행물)] - Villegas I / 1999 / Development of a continuous-flow system for the growth of compound semiconductor thin films via electrochemical atomic layer epitaxy / Journal of the Electrochemical Society 146 (1) : 117 ~ 124
5. [학술지(정기간행물)] - Chiu WKS / 2000 / Continuous chemical vapor deposition processing with a moving finite thickness susceptor / Journal of Materials Research 15 (2) : 317 ~ 328
2. [기타자료] - 장홍석 / / 반도체소자 제조용 케미컬 탱크 및 이를 구비한 스피너 설비, 특허출원번호 1020040063299
3. [학술지(정기간행물)] - Leslie KE / 2001 / Three component spinner magnetometer featuring rapid measurement times / IEEE Transactions on Applied Superconductivity 11 (1) : 1051 ~ 8223
4. [학술지(정기간행물)] - Villegas I / 1999 / Development of a continuous-flow system for the growth of compound semiconductor thin films via electrochemical atomic layer epitaxy / Journal of the Electrochemical Society 146 (1) : 117 ~ 124
5. [학술지(정기간행물)] - Chiu WKS / 2000 / Continuous chemical vapor deposition processing with a moving finite thickness susceptor / Journal of Materials Research 15 (2) : 317 ~ 328
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