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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.12
- 수록면
- 5,412 - 5,419 (8page)
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산업의 발달에 따른 각종기기 장치들의 고속화, 소형화, 정밀화로 인해 고속 스핀들의 필요성은 점점 커지고 있다. 또한 공기동압베어링은 스테이지 모션에 대해서 무마찰 실현을 위해서 웨이퍼 생산용 광학 리소그래피 분야에 도 적용된다. 공기동압베어링은 마찰에 의한 동력손실과 열 발생이 적어 고속회전에 유리하고 고정밀 회전이 가능하 기 때문에 고속 고정밀 스핀들 시스템 및 하드 디스크 드라이브에 사용될 수 있다. 본 연구에서는 축 하중 지지를 위 해 헤링본 홈 형상을 가지는 공기동압베어링의 성능에 대한 수치해석을 수행하였다. 또한 본 연구에서는 공기동압베 어링을 제작하기 위해서 기존의 기계 가공방법과는 다른 비접촉식 초정밀 가공 방법인 마이크로 전기화학가공에 의 한 방법으로 마이크로 그루브 가공을 수행하였고, 수치해석 프로그램을 이용하여 전극의 간극, 전해용액 농도, 가공시 간 등 이론적인 수치를 시뮬레이션 하였다.
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참고문헌 (16)
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1. [학술지(정기간행물)] - Y. Saito / 1983 / Characteristics of Gas-Lubricated Spherical Spiral Groove Bearings / Journal of JSLE 28 (3) : 221 ~ 227
2. [학술지(정기간행물)] - T. Czyzwewski / 1987 / Analysis of an Arbitrarily Misaligned Self-Acting Gas Film Journal Bearing of Finite Length / Wear 114 : 367 ~ 379
3. [학술지(정기간행물)] - J. Bootsma / 1975 / Spherical and Conical Spiral Groove Bearings / ASME Journal of Lubrication Technology : 236 ~ 249
4. [학술지(정기간행물)] - N. Kawabata / 1991 / Spiral grooved Bearing Utilizing the Pumping Effect of a Herringbone Journal Bearing / JSME Int. Journal, Series Ⅲ 34 (3) : 411 ~ 418
5. [학술지(정기간행물)] - W. C. Choi / 2000 / Study on the Performance of Spiral-Grooved Semi-Spherical Air Bearings Using Taguchi Method / JSME Int. Journal, Series C 43 (1)
2. [학술지(정기간행물)] - T. Czyzwewski / 1987 / Analysis of an Arbitrarily Misaligned Self-Acting Gas Film Journal Bearing of Finite Length / Wear 114 : 367 ~ 379
3. [학술지(정기간행물)] - J. Bootsma / 1975 / Spherical and Conical Spiral Groove Bearings / ASME Journal of Lubrication Technology : 236 ~ 249
4. [학술지(정기간행물)] - N. Kawabata / 1991 / Spiral grooved Bearing Utilizing the Pumping Effect of a Herringbone Journal Bearing / JSME Int. Journal, Series Ⅲ 34 (3) : 411 ~ 418
5. [학술지(정기간행물)] - W. C. Choi / 2000 / Study on the Performance of Spiral-Grooved Semi-Spherical Air Bearings Using Taguchi Method / JSME Int. Journal, Series C 43 (1)
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