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한국산학기술학회 한국산학기술학회 학술대회논문집 한국산학기술학회 2005년도 춘계학술발표대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
45 - 47 (3page)

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전기, 전자, 우주, 자동차, 무기 등의 여러 분야에서 응용되고 있는 고정밀, 고저항체 박막인 TaNx 다층박막을 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 제조하여 질소분압에 따른 TCR 특성 변화를 조사하고, XRD와 SEM 관찰을 통하여 미세조직이 전기적 성질에 미치는 영향을 알아보았다. 제조된 TaNx 박막의 전기저항은 질소 ... 전체 초록 보기

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