Analysis of a-IGZO channel layer deposited via Pulsed-DC sputtering

Jiwon Choi ,  Jaemin Kim ,  Eun-Chel Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

A study on the effect of Cu amount thin films prepared by magnetron sputtering with Mo-Cu single alloying target

이한찬 ,  편진호 ,  신백균 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Effect of Hydrogen Addtion Ratio on pulsed dc-magnetron sputtered ITO film properties on amorphous/crystalline silicon heterojunction solar cell

Junyoung Kang ,  Sunbo Kim ,  Shihyun Ahn 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

SiO2 and TiO2 thin film deposited by DC pulsed magnetron sputtering with the process variable working pressure

Hye jin jeong ,  Moon Suhk Suh

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Preparation of thin Cu-Fe-Ni composites film by magnetron sputtering and their temperature dependence of electromagnetic properties

Y. CHOI ,  B. K. KANG ,  Y. BAIK 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

The comparative study of pure and pulsed DC plasma sputtering for synthesis of nanocrystalline Carbon thin films

Jin Xiang Piao ,  Manish Kuma ,  Amjed Javid 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Fabrication of W doped VO₂ thin film by pulsed DC sputtering for smart window application

Minha KIM ,  Van Duan NGUYEN ,  Soohyun HWANG 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering

David RUZIC ,  P ,  iya RAMAN 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Mechanisms involved in modification of film structure and properties in ICP assisted dc and pulsed dc sputtering

Eiji Kusano

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Optoelectrical properties of IGZO/Cu bi-layered films deposited with DC and RF magnetron sputtering

Moon hyun joo ,  Oh-jung hyun ,  Dong-Il Son 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Coercivity field control using magnetron sputtering energy

Changjin Yun ,  Jiho Kim ,  Kungwon Rhie 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .11

Highly flexible and transparent Cu₂O/Cu/Cu₂O mesh electrodes grown by roll to roll sputtering for flexible touch screen panels

Han-Ki KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Optimization for electrical and structural properties of aluminum thin films deposited on glass by DC magnetron sputtering

Shahinu ,  RAHMAN ,  Heon-Ju LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Large-area graphene layer grown by using high power impulse magnetron sputtering

Man-Jia PO ,  De-Chiuan LIOU ,  Min-Yi CHEN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석

오세훈 ,  이윤호 ,  박건우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Low-resistivity ultrathin Cu and Co films deposition technology

Min Seo ,  Sung-Ju Han ,  Min-kyung Cho 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Low-resistivity ultrathin Cu and Co films deposition technology

Min Seo ,  Sung-Ju Han ,  Min-kyung Cho 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 CaWO₄:Dy³⁺ 박막의 광학, 구조, 표면 특성

조신호

새물리

2023 .10