게이트 구조에 따른 FinFET의 전기적 특성변화

정현수; 김태환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정현수 (한양대학교) 김태환 (한양대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.2

수록면: 318 - 318 (1page)

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