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저자정보
김민석 (한국표준과학연구원) 박민훈 (한국표준과학연구원) 복보규 (한국표준과학연구원) 안종현 (연세대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제53회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2017.8
수록면
67 - 67 (1page)

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