TSV용 마그네트론 스퍼터링 음극의 컴퓨터 시뮬레이션

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Automation of dc magnetron sputtering system using real-time thickness monitor

S. H. Lee ,  Sug-Bong Choe

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2019 .11

Mechanisms involved in modification of film structure and properties in ICP assisted dc and pulsed dc sputtering

Eiji Kusano

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

The comparative study of pure and pulsed DC plasma sputtering for synthesis of nanocrystalline Carbon thin films

Jin Xiang Piao ,  Manish Kuma ,  Amjed Javid 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

클로로필 고생산성 Chlorella vulgaris 변이주의 특성 분석

박현진 ,  김옥주 ,  하지민 외 2명

한국미생물·생명공학회지

2015 .01

Optimization for electrical and structural properties of aluminum thin films deposited on glass by DC magnetron sputtering

Shahinu ,  RAHMAN ,  Heon-Ju LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Analysis of a-IGZO channel layer deposited via Pulsed-DC sputtering

Jiwon Choi ,  Jaemin Kim ,  Eun-Chel Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Nitrogen doped Titanium Oxide Thin Films Fabricated by DC Magnetron Sputtering Method

H. Jee ,  J. W. Jang ,  S. J. Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석

오세훈 ,  이윤호 ,  박건우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering

David RUZIC ,  P ,  iya RAMAN 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Coercivity field control using magnetron sputtering energy

Changjin Yun ,  Jiho Kim ,  Kungwon Rhie 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .11

Controlling the surface energy and electrical properties of carbon films deposited using unbalanced facing target magnetron sputtering plasmas

Amjed Javid ,  Manish Kuma ,  Seok Young Yoon 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Crystal Properties of TiO2 Thin Films Grown at Low Temperatures by Reactive DC Magnetron Sputtering

Hyeok Jee ,  Jin-Soo Kim

새물리

2019 .02

Large-area graphene layer grown by using high power impulse magnetron sputtering

Man-Jia PO ,  De-Chiuan LIOU ,  Min-Yi CHEN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Design and Analysis of Permanent Magnet Array for Development of Large Area Magnetron Sputtering Sources

Ye-Lim Lee ,  Rambabu Kuchi ,  S 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2015 .11

Next-generation magnetron sputtering ion source development via an ultra-low cooling system

Joonwoo Kim ,  Si Ho Oh ,  Woo Ri Ju 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2023 .05

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 CaWO₄:Dy³⁺ 박막의 광학, 구조, 표면 특성

조신호

새물리

2023 .10