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저자정보
당천우 (부산대학교) 이현영 (부산대학교) 조영현 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제53회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2017.8
수록면
157 - 157 (1page)

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