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전영무 (전자부품연구원) 송민영 (전자부품연구원) 오재준 (전자부품연구원) 채유리 (전자부품연구원) 김선민 (전자부품연구원) 서문석 (전자부품연구원) 이철승 (전자부품연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제53회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2017.8
수록면
272 - 272 (1page)

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