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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.10
- 수록면
- 503 - 508 (6page)
- DOI
- 10.7735/ksmte.2017.26.5.503
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Except for the exposure optical system (optical imaging system + light irradiation optical system), the other field technology has secured the base and some core technologies, but it has a high precision positioning alignment technique of the optical imaging optical system that directly affects the result of fine pattern processing of actual products. There is an urgent need to secure. We have studied the alignment method of aperture array of optical imaging system using piezo element. We developed a jig that can align an aperture array using a piezo actuator, and the exposure results were confirmed by aligning the aperture array with the developed imaging optical system. The conclusion is that the alignment method of the aperture array of the optical imaging system using the piezo element led to good results.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 장비의 설계 및 구성
3. 조리개 배열 정렬 및 노광검사
4. 결론
References
참고문헌 (4)
참고문헌 신청
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