메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김선태 (한국산업기술대학교) 강찬형 (한국산업기술대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제50권 제5호
발행연도
2017.10
수록면
352 - 359 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

폴리 실리콘 위에서 나노결정질 다이아몬드 박막 성장
김선태 ,  강찬형 한국표면공학회지 2017.10 학술저널

2016

DC Bias가 다결정 실리콘 기판 위 나노결정 다이아몬드 박막의 성장에 미치는 영향
김선태 ,  강찬형 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016.11 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
The growth of nanocrystalline diamond films on a p-type poly silicon substrate was studied using microwave plasma chemical vapor deposition method. A 6 mm thick poly silicon plate was mirror polished and scratched in an ultrasonic bath containing slurries made of 30 cc ethanol and 1 gram of diamond powders having different sizes between 5 and 200 nm. Upon diamond deposition, the specimen scratched in a slurry with the smallest size of diamond powder exhibited the highest diamond particle density and, in turn, fastest diamond film growth rate. Diamond deposition was carried out applying different DC bias voltages (0, -50, -100, -150, -200 V) to the substrate. In the early stage of diamond deposition up to 2 h, the effect of voltage bias was not prominent probably because the diamond nucleation was retarded by ion bombardment onto the substrate. After 4 h of deposition, the film growth rate increased with the modest bias of -100 V and -150 V. With a bigger bias condition(-200 V), the growth rate decreased possibly due to the excessive ion bombardment on the substrate. The film grown under -150V bias exhibited the lowest contact angle and the highest surface roughness, which implied the most hydrophilic surface among the prepared samples. The film growth rate increased with the apparent activation energy of 21.04 kJ/mol as the deposition temperature increased in the range of 300 ~ 600 ℃.
#Nanocrystalline diamond #Diamond slurry #Ion bombardment #Microwave plasma chemical vapor deposition #Nucleation and growth

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 검토
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (25)

참고문헌 신청
M. A. Prelas, G. Popovici, L. K. Biglow, Handbook of Industrial Diamonds and Diamond Films, vol I, II, III, Marcel Dekker, Inc., N.Y. (1997). A. Perret, W. Haenni, N. Skinner, X.-M. Tang, D. Gandini, C. Comninellis, B. Correa, G. Foti, Electrochemical behavior of synthetic diamond thin film electrodes, Diamond Relat. Mater. 8 (1999) 820-823. I. Troester, M. Fryda, D. Hermann, L. Schaefer, W. Haenni, A. Perret, M. Blaschke, A. Kraft, M. Stadelmann, Electrochemical advanced oxidation process for water treatment using Diachem electrodes, Diamond Relat. Mater. 11 (2002) 640-645. M. Fryda, T. Matthee, S. Mulcahy, A. Hampel, L. Schaefer, I. Troester, Fabrication and application of Diachem electrodes, Diamond Relat. Mater. 12 (2003) 1950-1956. D. M. Gruen, Nanocrystalline Diamond Films, Annu. Rev. Mater. Sci. 29 (1999) 211-259.

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Diffusion and Perfusion weighted MRI
김세영 대한인터벤션영상기술학회지 2010 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-581-001463179